Description
DCS的控制器主要是由CPU、ROM、RAM、E2PROM、地址设定开关等组成。CPU完成运算，ROM用来存操作系统、功能块库，功能块在ROM中的排列是确定的，用户是不能改变的。RAM用来存CPU的运算结果和I/O信号。E2PROM存用功能块连成的控制方案。下电时，控制方案是不会丢失的。
SET OF 3 VIEWPORTS 716-011533-001 – NEW
PRINTED CIRCUIT BOARD APPLIED MATERIALS 0100-0953 REV.C
POWER SUPPLY APPLIED MATERIALS 0010-09181
FILTER ENTEGRIS WGFG01RH2 WAFERGARD – NEW
CONTROLLER MINARIK RG310UA – REFURBISHED
AIR BLOWER ASML 4022.436.2563 3D – REFURBISHED
