Description
根据分散控制、集中管理的设计思想并结合该课题的实际情况，设计了以动力定位控制主机为管理级计算机、以两台声纳解算机和主单片机为监控级计算机、两片从单片机为直接控制机的三级控制系统，其中主、从单片机均选用80c196kc。
APPLIED MATERIALS – 0040-41924 – ESC ASSY, 200MM SNNF
APPLIED MATERIALS – 0040-48339 – SHOWER HEAD,DUAL
APPLIED MATERIALS – 0040-77153 – TRAY, CASSETTE, MEG
APPLIED MATERIALS – 0040-98210 – ASSY, BELLOWS VACUUM
APPLIED MATERIALS – 0045-90010W – PWR SPLY,PRE ACCEL
APPLIED MATERIALS – 0050-03684 – GASLINE,SPOOL,PUSHGAS
