描述
控制系统的硬件一定要具有高可靠性，在电子元器件上的生产工艺各环节上采用了成熟技术,电子模件最好能热拔插。控制器的运算和存储能力要足够，IO卡件具有很强的抗干扰能力。
GRANVILLE PHILLIPS 20354029-YE-T MICRO-ION GAUGE
TYLAN 2900 500 SCCM 5% PH3 95% N2 MASS FLOW CONTROLLER
ZYGO 7007 ZMI FOLD MIRROR -EXCELLENT CONDITION
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