Description
组态配置：装置回路的I/O组态定义数量不应超过系统提供的同类型卡件最大I/O容量的80%，依此来确定系统I/O卡件配置数量，这将给未来的组态调整带来方便。另外，为方便系统运行过程中I/O组态的增加的不便，可以考虑将部分备用通道分别组态为临时回路，需要时可以随时使用。
A52247 Inficon UL500 Dry Leybold, Anest Iwata Vac Pump
Leybold Turbovac 1000C Turbo Vacuum Pump 6″ ASA
Leybold TMP341MCT Turbomolecular Vacuum Pump 250.0 LPS
Leybold Turbovac 340M Turbomolecular Vacuum Pump 250.0
Leybold WS1001 Roots Blower Vacuum Pump 707.0 CFM
Varian V1000HT Turbomolecular Vacuum Pump 950.0 LPS
Varian V1000HT Vacuum Pump Controller
