Description
由于所有控制站设备均为双路供电，一路UPS，一路市电，所以这种情况的发生几率很小。
当控制站全部断电后，监控画面上两个系统报警红灯亮，通讯中断，数据全部不刷新，所有自调系统完全失控，调节阀将恢复到初始状态，气开阀全关，气关阀全开。此时，应立即紧急处理或停车，同时到现场进行操作。
EDWARDS QDP80 DRY SEMICONDUCTOR DRYSTAR VACUUM PUMP+CTL
Leybold Turbovac 1000 C Vacuum Turbopump rebuilt
Toyota T600 Vacuum Dry Pump 0240-52730 new
Toyota T600 Vacuum Dry Pump new 0240-52729
CL1002 NASH VACUUM PUMP, 60 HP
Used: Nash vacuum pump, type CL1003. Approximately 330
