Description
子系统或节点配置：系统配置应尽量不大于系统允许最大配置的60%，控制系统冗余设计应尽量使用卡件箱箱间冗余配置或机柜内冗余配置，机柜间的线缆尽量减少。备用的卡件或设备数量应不少于20%(包括上面提到的不易采购的电源，风扇等专用设备)。
Arburg ARB 750 & FG-ML2 ARB 754
Jeol PP03143-2 V.DEC use on Jeol 5900 Lab6 SEM
Lam research 810-017038-002 rev. C
Applied materials VGA Video controller 0190-76050 Rev.B
Siemens NET CP Industrial ethernet 6GK7343-1GX11-0XE0
Tencor instruments power controls 239542 Rev. A
Jeol PH01135-1 STIG/AFC use on Jeol 5900 Lab6 SEM
