Description
当发现多个自调系统失灵，监控画面上自调阀阀位在全开或全关位置，立即检查仪表气源压力，若气源压力小于0．4MPa，则不正常，检查气源管道有无堵塞或漏气现象；若气源压力小于0．2MPa，立即进行紧急停车。将监控画面上的自调系统全部打到手动，将调节阀阀位调到安全位置，通知仪表工检查气源，同时到现场进行操作，关闭调节阀两端的截止阀，用旁路阀操作。
Edwards EXT250 Turbomolecular Vacuum Pump 220.0 LPS
Edwards QMB500F Roots Blower Vacuum Pump 355.0 CFM
WAU500 ROOTS VACUUM PUMP – PN: 89536-1 1183110034M
Edwards Vacuum Pump System E2M40 + EH250
EDWARDS EH500 ROOTS VACUUM PUMP — REFURBISHED —
TWO CTI CRYOGENICS 8107813G001, 8F cryopump, used
