Description
判断波动数据是否为工艺上相关参数，若是相关参数则通知仪表及微机人员检查，看是否某调节系统波动引起相关参数变化，同时将相关调节系统打到手动状态，必要时到现场进行调节。如水溶液全循环装置中，尿素合成塔压力正常时为l9.67MPa，如果突然大范围波动，此时势必引起下游的中压系统、低压系统压力波动，这种情况是由于几个相关参数中某一参数波动引起其他参数变化，并不是控制系统本身故障。
MKS ASTeX ARX Microwave Control Module AMAT 0190-00398
0190-00398 CONTROLLER MICROWAVE ASTEX
MKS AX8500 Delivery System Astex Control Interface
ASTEX AX7610-11 Chemical Downstream Plasma Source
ASTEX CPS SMARTMATCH (SM) P/N FI10001 rev z
Lam P/N: 685-097949-001 rev. B
Astex Power Distribution AS06485
ETO HV CAPACITOR BANK ABX-X284 Astex MKS
