Description
由于所有控制站设备均为双路供电，一路UPS，一路市电，所以这种情况的发生几率很小。
当控制站全部断电后，监控画面上两个系统报警红灯亮，通讯中断，数据全部不刷新，所有自调系统完全失控，调节阀将恢复到初始状态，气开阀全关，气关阀全开。此时，应立即紧急处理或停车，同时到现场进行操作。
SLOW VACUUM VALVE MODEL # FPR-91-9.52
PEDESTAL VACUUM PRESSURE SWITCH PART # 0090-77032
LAM RESEARCH BAFFLE PLATE LOWER PART # 715-011913-083
USHIO 100W Merqury Short Lamp
AMAT PART # 0020-21944 8″ QTZ PRECLEAN PLATE
CERAMIC LIFT PIN/SHORT PART # 0200-10162
796-00809 ANGLE VALVE REBUILD KIT
CONN ADPTR MTG QDS-UL(F)/QC(M) AMAT PART # 0020-04376
LIFT PIN, .090, SIMPLE CATH AMAT PART # 0021-10566
AMAT PART # 0200-35224 VIEWPORT WINDOW
