Description
薄膜键盘在大多数操作员站上得到应用。其主要功能是快速调取过程图形，便于操作员迅速监控过程参数。当因薄膜键盘组态错误、键盘接触不良、信号电缆松动或主机启动时误动键盘造成启动不完整，均可导致其功能不正常，应针对不同的情况进行处理。
Seiko Seiki STP SCU-H1000C Turbo Molecular Pump Control
Saint-Gobain AstiPure PFD3 333S Controlled Flow Pump
Saint-Gobain AstiPure PFD3 322AI Controlled Flow Pump
Young Eng. Mfg. Inc. 40BSA-27 Surge Suppressor Tank
K&S Kulicke & Soffa 1471 Automatic Wedge Bonder
Advanced Energy / ASM PDP3500 Pulsed Plasma Controller
Kevex 7000 Wafer Analysis System & Control Unit
