描述
⑴检查环境条件。电子设备室、工程师室内和环境温度、湿度、清洁度，应符合有关规程或生产厂家的规定;集控室内光线充足，具备操作员操作监视的条件。
⑵外观检查。检查系统设备的外观应完好，无缺件、锈蚀、变形和明显的损伤。有电源回路的电源熔丝和模件的通道熔丝应符合使用设备的要求;如有损坏应作好记录，并予以更换。各系统设备应摆放整齐，各种标识应齐全、清晰、明确。
Cybor Photo Resist Pump Model 5116C w/ Filter System
Leybold 100E CVD DRY VAC Vacuum Pump
GE Parametric MIS Probe, SN 44921, NEVER USED
Accurate Gas Control Systems Chiller AGT354D
Applied Materials TXZ Drive Assy. 5000, 5200, 5500 CVD
Ebara Vacuum Pump Model 80X25 w small coolers and power
