Agilent 5517C是一款高性能的激光头，广泛应用于激光干涉测量系统中。它通常与Keysight（原Agilent）的5501A和5527A系统配合使用，用于测量运动部件的位移和速度。特别是在半导体光刻和平板显示等高速运动场合，5517C因其高精度和快速响应能力而备受青睐。
AGILENT 5517C
主要特点
高精度:能够提供高精度的位移和速度测量。
高速度:适合高速运动应用，如半导体光刻和平板显示。
灵活性:可与多种系统兼容，包括VME、PC和Keysight 5501A/5527A系统。
大测量范围:可选配009选项，扩大测量角度范围。
应用领域
半导体制造:用于测量晶圆台、掩模台等部件的运动精度。
平板显示:用于测量玻璃基板的运动精度。
精密机械:用于测量精密机械部件的运动精度。
科研实验:用于各种高精度测量实验。
工作原理
5517C激光头通过发射激光束，并测量反射回来的激光束与发射激光束之间的相位差，从而计算出运动部件的位移和速度。
技术参数
波长:通常为可见光波段
测量范围:取决于配置和应用
精度:高精度，具体数值取决于配置和环境
接口:可连接VME、PC等多种系统
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