Description
AMAT 0190-72680是Applied Materials(应用材料)公司生产的一种电容式压力传感器,主要用于测量真空腔室内的压力。它被广泛应用于半导体制造设备、真空镀膜设备等对真空度要求较高的工业领域。这款传感器以高精度、高可靠性、以及对多种气体的兼容性而著称。
主要特点
高精度测量:能够精确测量低压范围内的压力,通常用于测量10Torr以下的压力。
宽测量范围:适用于多种气体,具有良好的兼容性。
快速响应:响应速度快,能够实时监测压力的变化。
可靠性高:设计坚固耐用,适用于恶劣的工业环境。
数字输出:提供数字输出信号,方便与计算机等设备连接。
应用场景
半导体制造:用于半导体制造过程中的真空腔室压力测量。
真空镀膜:用于真空镀膜设备的真空度监测。
科研实验:用于各种科研实验中对真空度的测量。
技术参数
测量范围:0-10 Torr
精度:±1%FS
响应时间:毫秒级
输出信号:数字信号
工作温度:-20℃~+70℃
电子邮件:2970592941@qq.com
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