Description
由于I/O模块与工业现场设备直接相连，所以I/O模块功能的强弱直接影响系统控制能力。为此，各生产厂商竞相研制各种丰富多样的I/O模块，如定位控制模块、CRT模块、数控模块、计算模块、语音处理模块、模糊模块等。它们大多是自带处理器的智能型I/O模块，可满足不同场合的复杂控制。如果HCS采用这些智能I/O模块，将大大增强其控制功能。
Balzers Leak Check Remote Control RC100
Kinetic Systems Vibraplane 305041-03-0013S
Leybold WS151 Vacuum Pump Blower
Tokyo Electron Cover Bellows A (DRM2) ***NEW***
Applied Materials LSI Slit Valve Liner P/N 0020-19003
Applied Materials LSI Slit Valve Filler P/N 0021-09718
