Description
70年代中期，彻底分散就是一个控制器完成一个回路的运算。当时由于人们对数字技术不太熟息，习惯于模拟仪表，70年代末、80年代曾经风行回路控制器，把数字控制器做成和原来模拟仪表在外观上几乎完全一样，不改变操作习惯，内部把PID运算数字化。一块仪表（一台计算机）完成一个回路的控制任务。其价格较为昂贵，但危险是分散了。然后用通讯网络把各个控制器和以CRT为基础的人机界面连成一个系统。这时网络结构通常都是星形结构
Nash TC5 Vacuum Pump with drive
VARIAN TRI-SCROLL VACUUM PUMP 310 PTS03101UNIV
Alcatel/Adixen ATP 150 Vacuum Turbo Pump: Surplus New
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Oerlikon Leybold WS-251 Vacuum Blower Rebuilt P 1 yr
Leybold TW-261 w/TDS Turbo Vacuum Pump
Varian V250 Turbo-V 250 Vacuum Pump: Rebuilt
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