描述
用来完成高级控制策略。综合现场控制器的数据，运用现代控制理论，通过最佳算法实现最优化控制或自适应控制，作出控制决策，指挥、协调各现场控制器，并将有关信息整理后向上级管理计算机汇报。
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Varian HS-32 Diffusion Pump
AMAT Cryo-Torr 10 High Vacuum Pump 8018182G001 Cryopump
ROOTS VACUUM PUMP ALCATEL RSV 301 – REFURBISHED
ROOTS VACUUM PUMP ALCATEL RSV 301 – REFURBISHED
ROOTS VACUUM PUMP ALCATEL RSV 301 / REFURBISHED
Vac-U-Lok 10 HP Vacuum Pump SHDP 180, rebuilt VacULoc
R&D Vacuum Pumping Station w/Welch, Leybold Heraeus
