描述
控制器的存储器中存有各种控制算法，如：PID、加、减、乘、除、三角函数、矩阵运算、先进算法史密斯预估器，与BASIC、C语言接口等。如果操作站中的监控软件作图功能不能满足要求，也可由工程师站做动态流程图，然后装载给操作站。
TURBO VACUUM VALVE IDX + Yokogawa 2.5+ ORIX FAN + Omron
HITACHI + SANYO DENKI + 4 UnitsTERMINATION DT-5 + KC-2
CTI Cryogenics Cryo Torr 8 High Vacuum Pump, Rebuilt
BOC EDWARDS IQ IQDP80 DRYSTAR VACUUM PUMP w/GATE VALVE
ALCATEL ADIXEN VACUUM PUMP ATP 2030 53/ MDP 5011 NS
Rietschle SKP 49033-02 REGENERATIVE BLOWER Vacuum Pump
