Description
在整定参数无把握的情况下，一般都不宜把初始试验参数放得太灵敏，例如比例度不宜放得太小，以免系统出现振荡。一般作法是在手动控制时，阀门需要开得较大者，P值(比例度)可选得小一些；阀门不需要开得较大者，P值(比例度)可逃得大一些。
AMAT PART #0200-20074 DOOR PRECLEAN CHAMBER QUARTZ
AMAT PART # 0020-24435 INSULATOR QUARTZ 8″
PARKER THREE WAY VALVE MODEL # 955Y3NC
THREE WAY VALVE AMAT PART # 3870-02221
NOVELLUS ANALOG INPUT PCB SLOT 6 PART # 19-00126-00
AMAT PART # 0200-35539 200mm BLADE ROBOT QTZ w/RADIUS
AMAT ENDURA COVER RING PART # 0020-24804
