Description
经验法整定PID的关键是“调参数，看曲线”。因此，在调整过程中，必须弄清PID调节器参数变化对过渡过程曲线的影响关系。例如，看到曲线波动很大时，就不能再减小P值(比例度)，也不应该减小I值或加大D值，否则就会使系统出现剧烈振荡。
CENTURA SLIT VALVE DOOR PART # 0021-09922
AMAT PART # 0200-10455
NOVELLUS THERMOCOUPLE UNIT PART # 03-10411-00
LAM ESC POWER SUPPLY DISTR. PCB PART # 810-370141-001
AMAT PART #0020-29343 DARK SPACE SHIELD CLAMP
AMAT PORT SERVER CABLE PART # 0140-77615
AMAT PART # 0200-76019 10N SHIELD LIFT
