描述
当发现多个自调系统失灵,监控画面上自调阀阀位在全开或全关位置,立即检查仪表气源压力,若气源压力小于0.4MPa,则不正常,检查气源管道有无堵塞或漏气现象;若气源压力小于0.2MPa,立即进行紧急停车。将监控画面上的自调系统全部打到手动,将调节阀阀位调到安全位置,通知仪表工检查气源,同时到现场进行操作,关闭调节阀两端的截止阀,用旁路阀操作。
Comet CPU Printed Circuit Board 6AA0048
Fuji Seiki Ultra High Purity Electric Gate Valve
MODEL 1616810 ISO NW100
Alcatel Vacuum Blower Type MIV-350
Alcatel ADP 80 H Vacuum Pump
Alcatel ADP 80 VZ Vacuum Pump
Balzers Leak Check Remote Control RC100
Kinetic Systems Vibraplane 305041-03-0013S
Leybold WS151 Vacuum Pump Blower
Tokyo Electron Cover Bellows A (DRM2) ***NEW***