描述
控制操作失灵：是由于球标的操作信号没有正常改变过程通道的状态，造成操作失效，这是2个方面造成的，一个方面是软件缺陷，另一方面是硬件本身故障的状态针对这样的缺陷通常做法检查过程通道功能正常后，再检查操作远必要时进行重起初始操作。
Leybold WS151 Vacuum Pump Blower
Tokyo Electron Cover Bellows A (DRM2) ***NEW***
Applied Materials LSI Slit Valve Liner P/N 0020-19003
Applied Materials LSI Slit Valve Filler P/N 0021-09718
Leybold Pump P/N 21945 Removed from Leybold Ultratest F
Leybold Pump P/N 590 29113 from Leybold Ultratest F
