Description
控制器是DCS的核心部件，它相当于一台PC机。有的DCS的控制器本身就是PC机。它主要有CPU、RAM、E2PROM和ROM等芯片，还有两个接口，一个向下接收I/O总线来的信号，另一个接口是向上把信号送到网络上与人机界面相连。ROM用来存贮完成各种运算功能的控制算法（有的DCS称为功能块库）。在库中存功能块，如控制算法PID、带死区PID，积分分离PID，算术运算加、减、乘、除、平方、开方、函数运算一次滤波、正弦、余弦、X-Y函数发生器、超前-滞后；比较先进的算法有史密斯预估，C语言接口、矩阵加、矩阵乘；逻辑运算有逻辑与、逻辑或、逻辑非、逻辑与非等。
Prometrix FT650 Film Thickness Probe with C2C R
3KW 13.56Mhz PlasmaTherm RF Generator HFS3000E AMN-PS-2
ASTeX AX8400/MKS AX8402 Ozone Gas Generator 125 G/Hr
THERMCO MINI BRUTE MB-71 1300C TUBE FURNACE 40″X4″
Tokyo Electron Ltd. TEL A129306: 150MM Backplane Htr.
MECS 200mm Wafer Prealigner OFH3001-003 working
