描述
对DCS控制系统的安装有严格规定,尤其是对于改造系统,选择有良好资质和施工经验,最好有改造经验的施工单位尤其重要。控制系统选型一旦确定后,施工单位的技术人员要一同介入控制系统设计,出施工图、制定施工措施和进行技术培训等,工程开工前,必须根据工期要求,制定严格的进度计划,并要求施工单位组织好安排力量,拿出他们的施工方案
LAM 4420 – Polysilicon Etcher
ADE – 780 MRT – Digital Measurement System
TEL Act 8 SOD Track Photolithograph
Novellus C1-SN 95-09-962
Novellus C1-SN 89-11-062
Novellus C1-SN 96-47-2195
Novellus C1-Tungsten-Japan