描述
要有必需的后备手段:重要的保护和联锁,出了有通讯连接外,还必须具有硬接线方式;对重要的调节设备,除了在操作员站上有软手操外,还必须有后备手操,以便在DCS控制系统控制器或I/O模件发生故障时,仍然可以对重要设备进行及时干预。
APPLIED MATERIALS – 0010-20115 – LID ASY,SHIELD TREAT
APPLIED MATERIALS – 0010-20127 – LID ASSY, SHIELD TREAT
APPLIED MATERIALS – 0010-20127 – ASSY, HANDLER RIGHT
APPLIED MATERIALS – 0010-20127 – EQ MAGNET ASSY DURA
APPLIED MATERIALS – 0010-20442 – ASSY, 8″ RF MATCH