描述
要重视DCS的干扰问题。要使DCS之间实现信号顺利传送，理想状态就是参与互传互递的DCS共有一个“地”，且它们之间的信号参考点的电位应为零，但在生产现场是不可能做到的。因为，各个“地”之间的接线电阻会产生压降，再者所处环境不同，这“地”之间的差异也会引入干扰，将会影响DCS的正确采样。干扰问题也是检查、判断DCS故障时要首先考虑的因素之一。
Seiko Seiki STP SCU-H1000C Turbo Molecular Pump Control
Saint-Gobain AstiPure PFD3 333S Controlled Flow Pump
Saint-Gobain AstiPure PFD3 322AI Controlled Flow Pump
Young Eng. Mfg. Inc. 40BSA-27 Surge Suppressor Tank
K&S Kulicke & Soffa 1471 Automatic Wedge Bonder
Advanced Energy / ASM PDP3500 Pulsed Plasma Controller
Kevex 7000 Wafer Analysis System & Control Unit
Garb-el Automatic Feed Bedding Disposal AL-50-P
Perkin-Elmer 3B Lambda UV/VIS Spectrophotometer
