描述
控制系统从结构上要充分地采用了冗余技术。对于控制系统的控制器、网络通讯等必须冗余,且各冗余设备之间必须能实现无扰切换.采用冗余结构不仅能避免控制系统的局部故障扩大事故,保证机组安全稳定运行,同时也保证设备故障的在线排除,从而消除事故隐患。
APPLIED MATERIALS – P5000 CVD CHAMBER BODY
ASYST – WX-73 MAPPER ROBOT ASSY
BROOKS AUTOMATION – ROBOT
EBARA – A10S
EBARA – A30W
EDWARDS – IQDP 40 DRY PUMP
M & W – RPC2/28W-RNB DUAL CHANNEL CHILLER