描述
维护工作可以概括以下几点：系统运行状况检查，系统环境状况检查，参数及组态的修改，故障和设备缺陷的处理，填写有关记录，备件及维修工具，仪器的保管，系统设备及工作间卫生。
Etrali SIM221-1
Pressure monitor assy 79885-105
SVP-CON 31179842
Tencor microscope dist, SFS76 assy 253537 rev. A
NECSY IFL2-PLUS M282-PLUS/IFL-A
Andel floodline flood alarm system
Applied material analog input 0100-09054
Agilent 41420A Source/monitor unit
