描述
检查工程师站、操作员站、通信网络、电源及所有模件的运行状态应正常；冗余设备应处于激活状态。
检查系统的报警及顺序事故记录（SOE）情况；检查打印纸充足，时钟与DCS系统、DCS系统与DEH系统均同步。对口令定期进行更换。
检查网络出错记录和网络工作状态应无异常、无频繁切换等现象。
Edwards BOC L70 Dry Semiconductor Vacuum Pump
Leybold TRIVAC D65BCS / WS501 Roughing Pump and Roots B
Oerlikon Leybold TW 701 Vacuum Turbo Pump
Rebuilt by Oerlikon Leybold with a one year warranty.
Edwards iQDP80 Dry Semiconductor Vacuum Pump w iQMB-500
APPLIED MATERIALS, AMAT 0010-21668 PVD magnet. New
NASH TCM3 VACUUM PUMP 30 HP
