描述
控制系统软件的可维护性要好。尤其是以下几个方面：程序及软件的稳定性好，不会出现系统或单个控制器死机等问题；系统自诊断性好：控制器及IO信号有出错报警；人机交换友好：可以在线修改程序及下装；备品备件有可靠保证：在15年内采购容易且周期短，价格低;功能是否强大。控制系统的软件的可读性好,其组态功能块的种类是否能轻易实现DCS控制系统的各种工艺功能的需要。
HPS / MKS KF50 Valve with Solenoid
Nanometrics Wafer Handler P/N 8200-0366
Nanometrics Sublimator Assy. Control Box
Laser Communications Module Model LS4-1 ***NEW***
Hi-Res PCB CRT for Scanning Electron Microscope
VEXTA 2-Phase Stepping Motor w/ VG Throttle Valve
TEGAL Electrical Distribution Junction Box 208V, 40Amps
