描述
若波动数据工艺上彼此并无直接影响，则可能为微机某卡件发生故障，立即将相关自调系统打到手动调节，必要时到现场进行调节，同时，通知微机及仪表人员检查。
FANUC MODULE A20B-2902-0070 , tested, warranty
FANUC MODULE A20B-2901-0340 , tested, warranty
FANUC MODULE A20B-2900-0380 , tested, warranty
FANUC A20B-1006-0290 tested warranty
Lam Research RF Generator P/N RMA: 515927
Blue M Oven Model CR07-256B/C
