描述
依据动作次序诊断故障。关于自动控制，其动作都是依照一定的次序来完结的，经过调查系统的运动进程，对比故障和正常时的状况，即可发现疑点，诊断出故障因素。如某水泵需求前后阀门都要翻开才能打开，假如管路不通水泵是不能启动的。
R79177 KLA Tencor SI Condensor Lens Control
KLA-Tencor Scintillator W/ Case 780-08986-000 Untested
KLA-Tencor 2365-UI PSB1600MBX PCB 0062642-002 Working
KLA-Tencor 2365 Galil Motion Control Assy. DMC-2143
KLA Tencor IDE Hard Disk Floppy Controller 328065 A
Crystal Tech. KLA-Tencor Acousto-Optic Deflector 4109-3
KLA-TENCOR SCINTILLATOR, 1700 107-009
KLA TENCOR SURFSCAN 7700 WAFER INSPECTION SYSTEM
