Description
采用物理上的分散结构，实现了分散控制
在现场就地安装控制器，不仅节省了输入输出电缆的长度，同时减少了传输信号的干扰。在功能上各控制器各自为政，各自独立完成各自的功能，使系统故障分散，从而使系统可靠性大为提高。
Applied Materials LSI Slit Valve Filler P/N 0021-09718
Leybold Pump P/N 21945 Removed from Leybold Ultratest F
Leybold Pump P/N 590 29113 from Leybold Ultratest F
Millipore Waferpure Megaline Cat No. WPLV202SI
NGK Ultra High Purity Water Manifold Valve Model CB-573
