描述
来自电源的干扰：实践证明，因电源引入的干扰造成DCS控制系统故障的情况很多，DCS系统的正常供电电源均由工作电源供电，由于其覆盖范围广，它将受到所有空间电磁干扰而在线路上感应电压和电流。尤其是内部的变化，大型电力设备启停、交直流传动装置引起的谐波等，都通过输电线路传到电源原边。
Kinetic Systems Vibraplane 305041-03-0013S
Leybold WS151 Vacuum Pump Blower
Tokyo Electron Cover Bellows A (DRM2) ***NEW***
Applied Materials LSI Slit Valve Liner P/N 0020-19003
Applied Materials LSI Slit Valve Filler P/N 0021-09718
Leybold Pump P/N 21945 Removed from Leybold Ultratest F
Leybold Pump P/N 590 29113 from Leybold Ultratest F
