描述
DCS网络的结构形式大致是三种，分别是总线形、环形和星形。星形结构通常只用于小系统。通讯协议有令牌广播式，问询式和存储转发式。问询式协议的网络要有交通指挥器。所有人机界面要向控制器请求数据时，必需通过交通指挥器，由交通指挥器来向控制器请求数据。控制器才能发送信息给人机界面
VEXTA STEPPING MOTOR MODEL PX243-01B
LAM 6 ” SPIN CHUCK PART # 715-013718-006
AMAT PART # 0200-09086
SLOW VACUUM VALVE MODEL # FPR-91-9.52
PEDESTAL VACUUM PRESSURE SWITCH PART # 0090-77032
LAM RESEARCH BAFFLE PLATE LOWER PART # 715-011913-083
USHIO 100W Merqury Short Lamp
AMAT PART # 0020-21944 8″ QTZ PRECLEAN PLATE
