描述
当发现多个自调系统失灵,监控画面上自调阀阀位在全开或全关位置,立即检查仪表气源压力,若气源压力小于0.4MPa,则不正常,检查气源管道有无堵塞或漏气现象;若气源压力小于0.2MPa,立即进行紧急停车。将监控画面上的自调系统全部打到手动,将调节阀阀位调到安全位置,通知仪表工检查气源,同时到现场进行操作,关闭调节阀两端的截止阀,用旁路阀操作。
Furon Chempure Pump P/N 3000539 M/N CDP0750
Altman Browning Process Tube Loader
Focus / Deflector Power Supply Ion Implanter
Process Monitor Cooling Water Flow Monitor PM-102
Leybold WA1000 Vacuum Pump
Cybor Photo Resist Pump Model 5116C w/ Filter System
Leybold 100E CVD DRY VAC Vacuum Pump
GE Parametric MIS Probe, SN 44921, NEVER USED