描述
在DCS控制系统选型时,还要充分考虑到以下各个方面:为了确保控制系统的安全可靠性,该投入资金不能少,以充分发挥DCS技术优势。比如,控制器对数不能太低,以便于控制功能分配的合理分配;I/O模块的数量要合理,以便在分配IO通道时既可以避免重要信号的过度集中,以确保各I/O模件的余量合理等。
Prometrix FT 750 – File Thickness Mapping System
Fusion G03 – Ozone Asher
LAM 9600 SE – Metal Etcher
APPLIED MATERIALS – P5000 CVD Chamber
Novellus 02-270441-00 – Gas Box
LAM 9600SE – Metal Etcher
Horiba PLCA-520 Particle Counter
JEOL JWS 7700