描述
每个HCS可支持多个控制器,而每个控制器又可支持多达上百个控制回路。这样由HCS便可组成较大型的控制系统,且控制是分散的。如ProcessLogix控制系统最多可支持16个控制器,每个控制器可支持125~150个控制回路。
ADVANCED ENERGY PDX 500 RF GENERATOR
LAM PART # 770-008341-002 PNEUMATIC CYLINDER
AMAT PART #0200-20074 DOOR PRECLEAN CHAMBER QUARTZ
AMAT PART # 0020-24435 INSULATOR QUARTZ 8″
PARKER THREE WAY VALVE MODEL # 955Y3NC
THREE WAY VALVE AMAT PART # 3870-02221
NOVELLUS ANALOG INPUT PCB SLOT 6 PART # 19-00126-00