描述
系统组态设备。应用系统的硬件配置通过系统配置组态软件完成。采用图形方式，系统网络上连接的每一种设备都与一种基本图形对应。在进行系统设备组态之前必须在数据库总控中创建相应的工程。
Leybold WS151 Vacuum Pump Blower
Tokyo Electron Cover Bellows A (DRM2) ***NEW***
Applied Materials LSI Slit Valve Liner P/N 0020-19003
Applied Materials LSI Slit Valve Filler P/N 0021-09718
Leybold Pump P/N 21945 Removed from Leybold Ultratest F
Leybold Pump P/N 590 29113 from Leybold Ultratest F
Millipore Waferpure Megaline Cat No. WPLV202SI
NGK Ultra High Purity Water Manifold Valve Model CB-573
