描述
软件故障在正常运行时出现的不多，主要出现在调试期间和修改组态后。因此，在判断系统故障时，应该先从硬件作手，尤其是现场仪表、温度变送器/单晶硅变送器等传感部件及执行器的检查。
EBARA CRYO COMPRESSOR
EDWARDS DP80 Dry Pump
EDWARDS DP80 PUMP/blower
EDWARDS DP80/EH250 PUMP PACKAGE
EDWARDS EH 250 BLOWER
EDWARDS IQDP 80 DRY PUMP
FTS SYSTEMS RC312ZBM1
LUXTRON OCCUFIBER MODEL 100C
APPLIED MATERIALS 0010-00019 ANALOG POWER-SPLY
