描述
电子电路最易出故障的是电源电路，对于DCS也不例外。电源发生故障，将直接影响DCS的正常工作。实践证明，电源模块使用时间长后，电子元器件失效导致电源模块发生故障的几率较高。此外，不能忽视电源线连接的故障，如接线头松动、螺栓连接点松动、锈蚀引起的接触不良故障。
Millipore FC-260KZ 200 sccm BCL3 NEW
Agilent 5517B HeNe laser 260uW
Bit3 403-202 82002045 rev. N KLA 750-404206
Electroglas power DAR assy 244425-001
Electroglas CPU board assy 244888-001
View assy 132500B
View assy 132400C
