Description
在选择DCS控制系统时要优先考虑有在类似机组上良好运行业绩的控制系统，这样的成套控制系统通过了工厂试验和实际投运，其可靠行得到了时间的检验。同时要尽可能多地了解不同DCS在其他电厂的使用情况，尤其是主要出现的重大问题，以便在招标中进行比对和取舍。
Leybold WSU250 Vacuum Pump, Parts Pump
Silicon Valley Group 88 Series Robot S.V.G.
Silicon Valley Group SVG Track Module 88 Series
Asyst Fan / Filter Assembly P/N C0094-0948
Spin Rinse Dryer Semitool 270 Part
Ebara Vacuum Pump Model 50X20
Optical Sensor Interface Board AII-CPU-03 9ECU-101A
Osaka Vacuum Ltd. Heater Controller REX-C100
