Description
有的DCS的PID功能块几乎是包罗万象的，有100多个参数。1，首先问PV从那里来，要填入PV的地址；PV值来自一块模拟输入模件或端子板；2，SP的地址，SP的地址通常是站的地址；3，有没有死区，没有死区，这一项就不用管了，有死区，要写入死区的宽度和高度；4，要不要积分，要积分，积分常数是多少，5，要不要微分，要微分，微分常数是多少；6，比例是多少；7，要不要死区，如果要，需输入死区宽度，死区的高度。8，要不要史密斯预估，如果要，就要填写史密斯预估器的参数；9，PID功能块的输出到那里，如输到模拟输出模件或端子板的功能块。其输出是真正到阀门。
Process Monitor Cooling Water Flow Monitor PM-102
Leybold WA1000 Vacuum Pump
Cybor Photo Resist Pump Model 5116C w/ Filter System
Leybold 100E CVD DRY VAC Vacuum Pump
GE Parametric MIS Probe, SN 44921, NEVER USED
Accurate Gas Control Systems Chiller AGT354D
Applied Materials TXZ Drive Assy. 5000, 5200, 5500 CVD
