描述
要有必需的后备手段：重要的保护和联锁，出了有通讯连接外，还必须具有硬接线方式；对重要的调节设备，除了在操作员站上有软手操外，还必须有后备手操，以便在DCS控制系统控制器或I/O模件发生故障时，仍然可以对重要设备进行及时干预。
CENTURA SLIT VALVE DOOR PART # 0021-09922
AMAT PART # 0200-10455
NOVELLUS THERMOCOUPLE UNIT PART # 03-10411-00
LAM ESC POWER SUPPLY DISTR. PCB PART # 810-370141-001
AMAT PART #0020-29343 DARK SPACE SHIELD CLAMP
AMAT PORT SERVER CABLE PART # 0140-77615
AMAT PART # 0200-76019 10N SHIELD LIFT
