描述
要有必需的后备手段:重要的保护和联锁,出了有通讯连接外,还必须具有硬接线方式;对重要的调节设备,除了在操作员站上有软手操外,还必须有后备手操,以便在DCS控制系统控制器或I/O模件发生故障时,仍然可以对重要设备进行及时干预。
CENTURA SLIT VALVE DOOR PART # 0021-09922
AMAT PART # 0200-10455
NOVELLUS THERMOCOUPLE UNIT PART # 03-10411-00
LAM ESC POWER SUPPLY DISTR. PCB PART # 810-370141-001
AMAT PART #0020-29343 DARK SPACE SHIELD CLAMP
AMAT PORT SERVER CABLE PART # 0140-77615
AMAT PART # 0200-76019 10N SHIELD LIFT